Об атомных процессах в кремниевой интегральной фотонике можно будет послушать сегодня, 9 июля в 355-й аудитории 8-го корпуса
Научно-учебная лаборатория аддитивных лазерных технологий кафедры ЛАТ физико-математического факультета КНИТУ-КАИ приглашает на открытый научный семинар д.т.н., профессора Центра инженерной физики Сколковского института науки и технологий Сергея Косолобова.
Спикер представит доклад на тему «Высокотемпературные атомные процессы на границе и в объеме элементов кремниевой интегральной фотоники».
«Высокотемпературные процессы играют ключевую роль в технологиях кремниевой интегральной фотоники, поскольку они определяют структурное совершенство материалов, качество границ раздела и, в итоге, влияют на оптические характеристики интегральных фотонных элементов. Термическое окисление, высокотемпературный отжиг, активация легирующих примесей, рекристаллизация и эпитаксиальный рост используются при формировании волноводов, резонаторов, фотодетекторов и других элементов фотонных интегральных схем. Вместе с тем высокие температуры сопровождаются интенсивной диффузией примесей, генерацией и эволюцией собственных точечных дефектов, изменением шероховатости поверхности, что может приводить как к улучшению, так и к деградации оптических характеристик устройств. В докладе обсуждаются атомные процессы, протекающие в объеме и на поверхности кристаллов. Анализируются процессы зарождения, диффузии и аннигиляции точечных дефектов на границе раздела поверхности «кристалл – вакуум», а также в условиях высокотемпературного осаждения металлов и взаимодействия с газовой атмосферой», - информируют организаторы о теме диалога.
К участию приглашаются научные сотрудники, аспиранты, студенты КНИТУ-КАИ, а также все, кого интересует передовая современная наука. Семинар состоится сегодня, 9 июля в 13:00 на площадке 8-го учебного здания КНИТУ-КАИ (аудитории 355). Координатор семинара - София Березина (E-mail: BabinaSV@stud.kai.ru)
Для справки: Сергей Сергеевич Косолобов – выпускник физического факультета Новосибирского государственного университета. Получил степень доктора физико-математических наук по направлению «1.3.8 Физика конденсированного состояния» в Институте физики полупроводников им. А.В. Ржанова (СО РАН, Новосибирск). Основные направления исследований лежат в области кремниевой интегральной фотоники, наноструктурирования, инженерии точечных дефектов, атомных процессов на поверхности и в объеме кристаллов.
