Семинар состоится 9 июля в 13:00 в аудитории 355 8-го учебного здания КНИТУ-КАИ
9 июля в 13:00 в аудитории 355 8-го учебного здания КНИТУ-КАИ состоится открытый научный семинар, организованный Научно-учебной лабораторией «Аддитивных лазерных технологий».
С докладом выступит Сергей Сергеевич Косолобов — доктор физико-математических наук, профессор Центра инженерной физики Сколковского института науки и технологий, выпускник Физического факультета Новосибирского Государственного Университета. Получил степень доктора физико-математических наук по направлению 1.3.8 Физика конденсированного состояния в Институте Физики Полупроводников им. А.В. Ржанова СО РАН, Новосибирск. Основные направления исследований лежат в области кремниевой интегральной фотоники, наноструктурирования, инженерии точечных дефектов, атомных процессов на поверхности и в объёме кристаллов.
Название доклада: Высокотемпературные атомные процессы на границе и в объеме элементов кремниевой интегральной фотоники
Высокотемпературные процессы играют ключевую роль в технологиях кремниевой интегральной фотоники, поскольку они определяют структурное совершенство материалов, качество границ раздела и, в итоге, влияют на оптические характеристики интегральных фотонных элементов. Термическое окисление, высокотемпературный отжиг, активация легирующих примесей, рекристаллизация и эпитаксиальный рост используются при формировании волноводов, резонаторов, фотодетекторов и других элементов фотонных интегральных схем. Вместе с тем высокие температуры сопровождаются интенсивной диффузией примесей, генерацией и эволюцией собственных точечных дефектов, изменением шероховатости поверхности, что может приводить как к улучшению, так и к деградации оптических характеристик устройств. В докладе обсуждаются атомные процессы, протекающие в объеме и на поверхности кристаллов. Анализируются процессы зарождения, диффузии и аннигиляции точечных дефектов на границе раздела поверхность кристалл – вакуум, а также в условиях высокотемпературного осаждения металлов и взаимодействия с газовой атмосферой.
К участию приглашаются научные сотрудники, аспиранты, студенты и все заинтересованные.
Координатор семинара: Березина София Вячеславовна
E-mail: BabinaSV@stud.kai.ru
